장비현황 : 광주테크노파크

지원/시설 안내 지역기술 혁신과 일자리 창출의 산실

장비현황

산업분류	기타 -
장비명(한글)	핫필라멘트 CVD
장비명(영문)	Hot Filament CVD
모델명	HFCVD
제작사	바큠텍	수량	1EA
사용료	0	사용용도
주요사양	1) 챔버 - 챔버사이즈 : Ø500mm×340mm(H)이상 - 작업부사이즈 : 290mm×290mm×220mm(H)이상 - 가열시스템 : 2,300도(MAX) 이상 - 가스공급시스템 2) 파워공급장치 : EA-PSI 8000급 이상, DC 3) 진공펌프 : mechanical pump, 3×10-3torr 이상 4) 냉각장치 : 냉각용량 4RT(13.6Kw) 이상

기관명	(재)광주테크노파크	담당자	유종진
이메일	Rnis7488@gjtp.or.kr	전화번호	062-602-0808